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六氟乙酰丙酮合钯(II)
| 中文名称： | 六氟乙酰丙酮合钯(II) |
| 英文名称： | Bis(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedionato)palladium |
| CAS： | 64916-48-9 |
| 分子式： | C10H2F12O4Pd |
| 分子量： | 520.52 |
| 结构式： |  |
| 编号： | BC-1141 |
| 性状： | 黄色至橙黄色粉末 |
| 纯度/ee(%)： | 98% |
| 包装： | 100g/瓶 |
| 熔点/℃： | 100 |
| 沸点/℃： | 70（70mmHg） |
| 闪点/℃： | 22.8 |
| 密度(g/mL)： | - |
| 溶解性： | - |
| 用途： | 钯催化剂前驱体。用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备 |
